特殊氣體硅烷系統(tǒng)設計內部分配系統(tǒng)要求：
1、在某些情況下，由于地點或環(huán)境的考慮，或者硅烷混合物的其他成分是有毒的，外部分配系統(tǒng)不可能位于室外。除了本部分推薦的控制措施外，上述戶外分配系統(tǒng)的控制措施也適用于室內分配系統(tǒng)。
2、使用的硅烷應位于通風的氣體或排氣室或隔離通風的氣體儲存室。該區(qū)域不得有不兼容的材料(如氧化劑)。室內分配系統(tǒng)應位于防爆屏蔽室或隔離室，設計用于危險材料控制。防爆屏蔽室或隔離室應至少有一個外墻，應與建筑物的其他占用區(qū)隔離。對硅烷室內儲存和控制的建筑要求，應參照當?shù)叵嚓P建筑法規(guī)。
3、所有無焊接裝置的通風速度必須足以防止硅烷在泄漏條件下積聚。(對自燃氣體， NFPA 318 氣瓶頸部和控制器的速度要求為 200 fpm；最近通過了統(tǒng)一的消防法標準 80.106 所有無焊接裝置都需要機械通風速度。 200 fpm）。氣室應該設計得能防止氣圈形成。氣室通風應采用自動氣體報警系統(tǒng)進行檢測，并在通風故障的情況下停止設備運轉。
4、氫化物檢測器應位于氣體室排放系統(tǒng)中，當檢測到氫化物時，設備應停止運行。還需要紫外線/紅外線探測器來指示火災，并在檢測火災時停止設備運行。溫度開關也可以用來檢測室內的火災。
5、凈化操作應使用位于同一個氣體室或排氣室的特殊稀有氣體氣瓶。理想情況下，每個凈化氣瓶及其維護的氣瓶應共享同一個氣體室。室內N2系統(tǒng)不能作為凈化源。
