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高純度氣體管道是高純度氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，是將符合要求的高純度氣體送至用氣點(diǎn)保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵，包括系統(tǒng)設(shè)計(jì)、管件及配件選擇、施工安裝及試驗(yàn)等。半導(dǎo)體技術(shù)是 20 半導(dǎo)體制造技術(shù)是世紀(jì)以來(lái)最偉大、最具活力的技術(shù)，它貫穿于高純氣體的提供，原料硅的提煉，晶圓的生產(chǎn)，IC 包裝和測(cè)試的全過(guò)程。體現(xiàn)當(dāng)今世界高科技水平的微電子商品，正以高性能、低成本為目標(biāo)，高速向高密度、高集成發(fā)展，對(duì)氣體雜質(zhì)含量的限制更加嚴(yán)格。相應(yīng)的高純度、高清潔氣體及其管道的輸配系統(tǒng)變得非常重要和重要。亞微米級(jí)(低于1um) )集成電路高純氣體雜質(zhì)的控制水平為0.1xl0-6，詳見(jiàn)下表：
例如某集成電路廠(chǎng)房生產(chǎn)線(xiàn)寬 0.18um 、直徑 200mm 芯片，各種雜質(zhì)的高純氣體控制水平 10xl0-9，其所用氣體見(jiàn)下表：
預(yù)計(jì)很快就會(huì)達(dá)到納米線(xiàn)距離，氣體雜質(zhì) H20 、O2 、CO、CO 2、TH C 等級(jí)要求將低于10-12級(jí)(每一類(lèi)) )。如此高純度的氣體由管道輸送，能否將高純度的氣體輸送到用氣點(diǎn)，保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵在于供氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)合理，管件及附件選擇正確，施工安裝正確，實(shí)驗(yàn)檢測(cè)合格。
